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沈陽芯源微電子設備股份有限公司成立于2002年，是由中科院沈陽自動化研究所發(fā)起創(chuàng)建的高新技術企業(yè)，專業(yè)從事半導體生產(chǎn)設備的研發(fā)、生產(chǎn)、銷售與服務，致力于為客戶提供半導體裝備與工藝整體解決方案。

芯源公司總部位于沈陽市渾南區(qū)，并在上海臨港設有全資子公司。公司總部占地4萬平米，擁有專業(yè)的集成電路工藝開發(fā)和檢測實驗室以及半導體設備生產(chǎn)組裝車間。芯源公司通過多年技術積累、創(chuàng)新提高，形成自主知識產(chǎn)權體系，已擁有授權專利265項，其中發(fā)明專利177項，外觀設計專利36項，擁有軟件著作權76項。主持制定了行業(yè)標準《噴霧式涂覆設備通用規(guī)范》、《旋轉(zhuǎn)式涂覆設備通用規(guī)范》。沈陽芯源公司作為國內(nèi)知名的高端半導體裝備制造企業(yè)，所開發(fā)的涂膠機、顯影機、噴膠機、去膠機、濕法刻蝕機、單片清洗機等產(chǎn)品，已形成完整的技術體系和豐富的產(chǎn)品系列，可根據(jù)用戶的工藝要求量身定制。產(chǎn)品適應不同工藝等級的客戶要求，廣泛應用于半導體生產(chǎn)、高端封裝、MEMS、LED、OLED、3D-IC TSV、PV等領域。可滿足300mm前道制程及300mm先進封裝厚膠工藝制程。

2019年12月16日，芯源公司在上交所科創(chuàng)板上市，借力資本市場，芯源將加速提升企業(yè)的創(chuàng)新能力和產(chǎn)品成套能力，以先進可靠的產(chǎn)品和優(yōu)質(zhì)服務贏得客戶信賴，為客戶提供先進的半導體設備，成為全球半導體設備領先企業(yè)，助推產(chǎn)業(yè)技術進步。